光刻工程师的薪资待遇受多种因素影响，包括工作年限、学历、所在城市等。以下是一些具体数据：

光刻产品工程师

月均薪资范围：8K-10K占比23.0%，10K-12K占比13.0%，12K-15K占比12.0%，15K-20K占比22.0%，20K-30K占比15.0%，其他占比12.0%。

按工作年限统计：全部年限平均月薪为14235元，1年以下平均月薪为12463元，1-3年平均月薪为18251元，3-5年平均月薪为14724元，5年以上平均月薪为19586元。

按学历统计：全部学历平均月薪为14235元，本科学历平均月薪为14708元，大专学历平均月薪为11645元。

半导体光刻工程师

月均薪资范围：8K-10K占比17.0%，10K-12K占比11.0%，12K-15K占比16.0%，15K-20K占比23.0%，20K-30K占比19.0%，其他占比10.0%。

按工作年限统计：全部年限平均月薪为16705元，1年以下平均月薪为13160元，1-3年平均月薪为16480元，3-5年平均月薪为23780元，5年以上平均月薪为33549元。

按学历统计：全部学历平均月薪为16705元，本科学历平均月薪为16528元，大专学历平均月薪为10838元。

光刻PAS设备工程师

月均薪资范围：6K-8K占比19.0%，8K-10K占比26.0%，10K-12K占比18.0%，12K-15K占比10.0%，15K-20K占比14.0%，其他占比11.0%。

光刻工艺工程师

薪资范围可能会根据公司的具体情况和员工的经验、技能等因素有所不同。建议了解公司的具体情况，包括公司规模、发展前景、企业文化等，以及光刻工艺工程师的具体工作内容和要求。

这些数据提供了一个大致的薪资范围，但实际薪资可能会因公司、地区、个人能力和工作经验等因素有所差异。建议在选择工作时，综合考虑这些因素，并尝试联系相关公司的员工或招聘负责人以获取更准确的信息。