处理装置的增值税税率取决于具体的服务类型和是否产生货物。根据提供的信息，以下是相关税率的概述：

1. 如果处理装置提供的是专业技术服务，例如废弃物处理（如垃圾、污泥、污水、废气等专业化处理），且处理后未产生货物，则适用的增值税税率为6%。

2. 如果处理装置在处理废弃物后产生了货物，并且货物归属于受托方，那么适用的增值税税率为13%。

3. 对于某些特定的废物处理设施，如规划范围内的废物处理设施，可能存在税收优惠，例如增值税即征即退50%的所得税优惠。

请根据您的具体情况选择适用的税率。