美国在MEMS（微机电系统）研究生专业方面享有很高的声誉。以下是一些排名信息：

普林斯顿大学- Photonics

哈佛大学- Atomic, Molecular, and Optical Physics, Nanophotonics

麻省理工学院（Massachusetts Institute of Technology）- 工程学院，特别是School of Engineering

斯坦福大学（Stanford University）- 工程学院

加州大学伯克利分校（University of California, Berkeley）- 工程学院，特别是College of Engineering

宾夕法尼亚大学（University of Pennsylvania）- 电子工程硕士专业排名位于前列

耶鲁大学（Yale University）- Electronic, Photonics & Nanoelectronics, Optical Physics, and

这些排名信息基于最近的数据，但请注意，排名可能会随着时间和各种因素（如研究成果、教授的学术成就、学生满意度等）的变化而变化。建议您在选择学校时，除了参考排名信息外，还应综合考虑学校的具体课程设置、师资力量、实验室设施以及行业联系等方面的情况。