学习EUV光刻技术涉及的专业领域包括：

电子学：

研究电子的性质、行为和相互作用，是光刻技术的基础之一。

光电信息：

涉及光与电的转换及其应用，包括光电传感器、光电显示技术等。

微电子：

研究微型电子器件的设计、制造和集成，是半导体产业的核心。

机械电子：

结合机械与电子技术，研究自动化控制、精密机械系统等。

机械制造：

涉及机械系统的设计、制造和维护。

自动化：

研究系统的自动化控制、操作和管理。

机电：

结合机械与电子技术，研究自动化设备和系统。

微机电：

研究微型机械系统的设计、制造和应用。

金属材料：

研究金属的性质、结构和应用，在光刻机制造中需要使用到。

高分子材料：

研究高分子材料的性质、合成和应用，在光刻胶等关键材料上有重要应用。

光电材料：

研究用于光电器件的材料，如光敏材料、光电导电材料等。

纳米材料：

研究纳米尺度下的材料性质和应用，对EUV光刻技术中的高精度要求有重要意义。

综上所述，学习EUV光刻技术需要掌握多个学科的知识，包括电子学、光电信息、微电子、机械电子、机械制造、自动化、机电、微机电、金属材料、高分子材料、光电材料、纳米材料等。这些专业知识相互融合，共同构成了EUV光刻技术的坚实基础。