光刻技术涉及到的知识包括光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科，因此，以下专业与光刻技术相关：

光电专业：

光电专业涉及到光学和电子学，是光刻机技术研发中不可或缺的一部分。

应用物理专业（传统光学方向）：

应用物理专业在光刻技术中主要涉及光学原理和应用，适合对光学和物理有浓厚兴趣的学生。

电子信息工程专业：

电子信息工程专业是光刻机应用最广泛的专业之一，学生需要掌握光刻机的原理和操作技能。

微电子科学与工程专业：

微电子科学与工程专业是光刻技术的重要应用领域，涉及微观器件结构和集成电路图形的制作。

集成电路工程专业：

集成电路工程专业与光刻技术密切相关，因为光刻技术在集成电路制造中起着关键作用。

通信工程专业：

通信工程专业虽然与光刻技术的直接关系较小，但在电子信息领域有广泛应用，也可能涉及到光刻技术的某些方面。

建议根据个人兴趣和职业规划选择合适的专业，进一步了解具体学校和课程安排，以选择最适合自己的专业方向。