以下是MEMS专业的排名情况：

国内排名

清华大学：在多个排名中均位列榜首，包括微电子科学与工程（MEMS属于微电子科学与工程领域）专业排名。

哈尔滨工业大学：在多个排名中均位列前茅。

上海交通大学：在多个排名中均位列前茅。

华中科技大学：在多个排名中均位列前茅。

北京理工大学：在多个排名中均位列前茅。

天津大学：在多个排名中均位列前茅。

大连理工大学：在多个排名中均位列前茅。

浙江大学：在多个排名中均位列前茅。

西安交通大学：在多个排名中均位列前茅。

北京航空航天大学：在多个排名中均位列前茅。

全球排名

普林斯顿大学：在2023年全球MEMS研究生专业排名中位列首位，专业为Photonics。

哈佛大学：在2023年全球MEMS研究生专业排名中位列第二位，专业为Atomic, Molecular, and Optical Physics, Nanophotonics。

耶鲁大学：在2023年全球MEMS研究生专业排名中位列第三位，专业为Electronic, Photonic &。

建议

选择MEMS专业时，建议综合考虑学校的专业排名、师资力量、实验室设施、科研水平以及行业前景等因素。清华大学、哈尔滨工业大学和上海交通大学等国内顶尖高校在MEMS领域有显著优势，而普林斯顿大学和哈佛大学等国外高校在微电子和纳米光学领域也有很强的实力。根据个人兴趣和职业规划，选择最适合自己的学校和专业。