以下是MEMS专业的高校排名情况：

国内MEMS专业排名

微机电系统工程专业排名：

1. 清华大学

2. 哈尔滨工业大学

3. 上海交通大学

4. 华中科技大学

5. 北京理工大学

6. 天津大学

7. 大连理工大学

8. 浙江大学

9. 西安交通大学

10. 北京航空航天大学

微电子科学与工程专业排名：

1. 电子科技大学

2. 西安电子科技大学

3. 北京大学

4. 清华大学

5. 东南大学

6. 北京邮电大学

全球MEMS专业排名

普林斯顿大学- Photonics

哈佛大学- Atomic, Molecular, and Optical Physics, Nanophotonics

耶鲁大学- Electronic, Photonic &

这些排名信息基于最近的数据，但请注意，排名可能会随着时间和不同评价机构的标准而有所变化。建议您在选择学校时，综合考虑学校的学术声誉、师资力量、研究设施以及学生的实际需求和就业情况。