根据最新的排名信息，以下是中国机械真空专业的一些顶尖大学：

东北大学：

在过程装备与控制工程专业的真空技术方面，东北大学被认为是全国第一。

合肥工业大学：

合肥工业大学在真空专业方面享有很高的地位，与东北大学齐名，并在某些方面如毕业人数上可能略胜一筹。

清华大学：

清华大学电子工程系和航天510所在真空技术及设备专业方面也被认为是国内较强的院校，尤其是清华大学，在空天物理技术专业方面在国际上享有盛誉。

电子科技大学：

电子科技大学在真空专业方面表现不俗，有着悠久的历史和丰富的教学经验。

南京理工大学：

南京理工大学拥有真空技术国家实验中心，也是国家真空技术推广中心。

这些大学在机械真空专业领域都有深厚的历史和丰富的教学经验，是真空专业学生求学的优选之地。建议根据个人的兴趣、职业规划以及学校的具体优势来选择合适的学校。