微机电系统工程专业（MEMS）的世界排名如下：

清华大学

哈尔滨工业大学

上海交通大学

华中科技大学

北京理工大学

天津大学

大连理工大学

浙江大学

西安交通大学

北京航空航天大学

这些排名基于学术声誉、研究成果、师资力量、教学设施等多个因素综合评估得出。请注意，这些排名可能会随着时间的推移和评价标准的变化而有所调整。建议您查看最新的官方发布信息以获取最准确的排名数据。