北京大学微电子MEMS的专业课包括以下几种选择：

半导体物理

数字与模拟电路

具体考试科目如下：

01—03方向：

限考半导体物理或数字电路逻辑设计，两门任选一门。

04—06方向：限考电子线路或普通物理，两门任选一门。

07—10方向：限考普通物理、材料科学、数字电路逻辑设计，三门任选一门。

11—13方向：限考半导体物理、数字电路逻辑设计、计算机应用基础，三门任选其一。

此外，所有MEMS方向的学生还需参加以下课程：

思想政治理论

英语一

数学（一）

建议选择与自己研究方向相关的课程进行备考，以确保能够全面掌握所需的专业知识和技能。