清华大学图书馆的实体馆藏总量在不同时间点有所不同。以下是一些关键数据：

1. 截至2003年底，馆藏总量已经超过300万册（件）。

2. 截至2021年底，清华大学图书馆（含专业图书馆及院系资料室）的实体馆藏总量约562.45万册（件）。

3. 截至2022年底，清华大学图书馆现有实体文献565万册。

因此，清华大学图书馆的实体馆藏总量在2022年底约为565万册。