理工硕士的工资专业排名如下：

信息安全，月薪7156元；

微电子科学与工程，月薪7151元；

软件工程，月薪7061元；

数据科学与大数据技术，月薪7014元；

电子科学与技术，月薪7011元；

物联网工程，月薪6967元；

智能科学与技术，月薪6966元；

光电信息科学与工程，月薪6911元；

电子信息科学与技术，月薪6872元；

机械电子工程，月薪6842元。

这些专业主要集中在IT、电子信息和新兴工程等领域，具有较高的薪资水平和广泛的就业前景。建议根据个人兴趣和职业规划选择合适的专业。