以下是一些在MEMS（微机电系统）领域有显著贡献和研究的大学：

清华大学

微电子学研究所微纳器件与系统研究室

精密测试技术与仪器国家重点实验室

上海交通大学

微纳科学技术研究院

电子信息与电气工程学院

东南大学

微电子机械系统教育部重点实验室

北京理工大学

MEMS与智能微系统研究所（i2MEMS）

西北工业大学

微纳米系统实验室

哈尔滨工业大学

微电子机械系统教育部重点实验室

华中科技大学

微电子科学与工程学院

微系统研究中心

天津大学

MEMS师生羽毛球战队（虽然这是体育活动，但也反映出学校对MEMS的重视）

大连理工大学

MEMS相关研究

浙江大学

微电子科学与工程学院

西安交通大学

微电子科学与工程学院

北京航空航天大学

微电子科学与工程学院

南京理工大学

MEMS惯性技术研究中心

北京大学

微机电系统研究所

这些大学在MEMS领域拥有强大的科研实力和丰富的教学经验，提供包括本科、硕士和博士在内的多层次教育项目。建议选择这些大学进行MEMS相关专业的学习和研究，以获得最好的教育和研究资源。